高精度納米力學測試儀

本實驗系統可在納/微米尺度上連續記錄作用在樣品上的載荷和壓入樣品表面的深度，獲得被壓材料的硬度和模量。主要用于巖土體材料的納米壓痕、納米劃痕、摩擦磨損、原位成像、動態力學性能等納米特性測試，獲得相關條件下的硬度、模量、蠕變等功能。

二、技術指標

1、納米壓痕測試：

1.1最大載荷：≥10mN；載荷力分辨率：≤1nN；最大位移：≥5μm

1.2最小載荷：≤70nN，載荷噪音背景：≤20nN

1.3位移噪音背景：≤0.2nm，位移分辨率：≤0.006nm

2、高解析原位掃描探針成像（SPM）

2.1掃描頻率：0.01Hz～3.0Hz

2.2掃描分辨率：4096×4096像素點

2.3掃描探針原位的位置控制精度：±10nm

3、納米劃痕測試：最大橫向載荷力：2mN；橫向載荷分辨率：≤50nN